近日，浙江生波智能裝備有限公司（以下簡稱“生波智能”）獲億元級A輪融資，由國芯創(chuàng)投領投，派諾資本及產(chǎn)業(yè)資方跟投。

消息顯示，本輪融資將用于半導體先進工藝制程設備的研發(fā)、安徽滁州明光“半導體大型真空鍍膜設備項目”制造基地建設、擴充企業(yè)產(chǎn)能等，并進一步保持及增強“生波智能”在半導體及光電顯示行業(yè)的技術領先優(yōu)勢。

據(jù)悉，生波智能是一家半導體真空裝備制造商，該公司在等離子體源、PECVD源、PVD源等多種最核心源部件擁有自主研發(fā)、制造能力，立足于中高端設備的研發(fā)及專項設備的定制。其產(chǎn)品應用于半導體、平板顯示、航天科技、深空探測、新材料封裝等多個領域。