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日本富士膠片或啟動EUV光刻膠業務,希望在2024年之前獲得10%市占

2021-01-08 來源:鉅亨網 網絡整理
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1月8日消息,有報道指出,日本富士膠片已正式啟動 EUV光刻膠業務,目標在2024年之前獲得全球的10%市占。

富士膠片在生產據點導入高準確度的質量檢查設備等,目前已經展開樣品出貨,計劃最快在 2021 年的前半開始量產。由于 AI 人工智能、IoT 物聯網以及 5G 通訊的普及,半導體制程也朝著細微化進展。此外,應用 EUV 的光刻技術,也預估需求量將有所增長。

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富士膠片子公司、從事半導體材料業務的富士電子材料公司 (FFEM),在日本靜岡工廠全新投資約 15 億日圓(約人民幣9424萬元),安裝了最先進 EUV 制程用途的半導體材料質量評估設備。期盼藉著最先進檢查設備的導入,來提升質量并確保供貨穩定,要與競爭對手的產品作出區隔,盼能獲得廠商采用。

富士電子材料公司為了研發生產 EUV 光刻膠,包含這回導入的檢查設備在內,一共投資了 45 億日圓(約人民幣2.8億)。該公司生產 ArF 光刻膠的經驗,也有助于新產品的研發生產。而在目前,日本生產 EUV 光刻膠的廠商,有著名的信越化學工業等公司。

富士膠片位在美國的據點,有進行化學機械研磨液 (CMP Slurry) 的研發生產。為了提升顯影液純度,該公司也從 2018 年 12 月起的三年時間,進行 100 億日圓(約人民幣6.2億元)的投資,要強化半導體材料的競爭力。而在疫情影響下,遠距工作的普及等,都使得半導體材料需求看旺。



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