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一臺(tái)EUV光刻機(jī),一小時(shí)生產(chǎn)多少芯片?

2021-07-26 來源:互聯(lián)網(wǎng)亂侃秀
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眾所周知,當(dāng)芯片工藝進(jìn)入到7nm后,就需要一種EUV的光刻機(jī),也稱之為極紫外線光刻機(jī),目前全球僅有荷蘭的ASML能夠生產(chǎn)。

且ASML的產(chǎn)能有限,2015年交付第一臺(tái)EUV光刻機(jī)以來,截止至2020年底,一共才交付了100臺(tái),而2021年上半年一共交付16臺(tái),也就意味著到目前一共才交付了116臺(tái)。

一臺(tái)EUV光刻機(jī),究竟一小時(shí)生產(chǎn)多少芯片?ASML說清楚了

2015年時(shí),ASML交付的光刻機(jī)型號(hào)是TWINSCAN NXE:3400B,到2019年第三季度時(shí),ASML開始交付新一代的EUV光刻機(jī),型號(hào)為NXE:3400C。

TWINSCAN NXE:3400B支持7納米和5納米節(jié)點(diǎn)的EUV量產(chǎn),NXE:3400B每小時(shí)處理晶圓數(shù)不低于125片。而新一代的NXE:3400C每小時(shí)處理晶圓數(shù)不低于170片,可用率超過90%。

今年ASML開始交付新一代的EUV光刻機(jī),型號(hào)為NXE:3600D,相比于NXE:3400C,提供15%至20%的生產(chǎn)力改進(jìn)能力。

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那么利用這些數(shù)據(jù),我們就可以算一算了。

我們以最基礎(chǔ)的,出貨量最多的NXE:3400C來計(jì)算,每小時(shí)處理170片12寸的晶圓,而一片12寸的晶圓面積約是70659平方毫米,而一塊華為麒麟9000芯片面積約是100平方毫米。

理論上來講,如果晶圓100%利用的話,一塊12寸的晶圓,可以生產(chǎn)700塊麒麟9000,但實(shí)際考慮到邊角的切割,還有良率的問題,一塊12寸的晶圓,能夠切割麒麟9000芯片大約在450左右。

一臺(tái)EUV光刻機(jī),究竟一小時(shí)生產(chǎn)多少芯片?ASML說清楚了

所以一臺(tái)ASML的NXE:3400C EUV光刻機(jī),一小時(shí)就可以生產(chǎn)7.65萬塊麒麟9000芯片,再考慮到90%的可用率,那么也是6.885萬塊。1天24小時(shí)可以生產(chǎn)165.24萬塊芯片,一個(gè)月就是4957.2萬片麒麟9000芯片,一年就是5.95億片。

可見,只要如果我們能夠買到一臺(tái)ASML的NXE:3400C EUV光刻機(jī),不需要最新的NXE:3600D,國(guó)內(nèi)高端芯片的產(chǎn)能基本就能夠保證了。

如果買到最新的NXE:3600D,產(chǎn)能能再提升15%-20%,那么類似于麒麟9000這樣的芯片,一年就是7億多塊芯片的產(chǎn)能。



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