突破！萬業企業集成電路離子注入機獲客戶驗證
2021-12-28
來源：南早網
5900
12月27日消息，萬業企業公司旗下凱世通的高能離子注入機設備已順利通過驗證并完成驗收，這是國產高能離子注入機首次通過晶圓廠驗證。
集成電路離子注入機主要廠商有應用材料和Axcelis，中國芯片廠使用的離子注入機幾乎全部依賴海外。萬業企業現完成了國內首臺高能離子注入機的驗證，關鍵設備的國產化進程再取得重大突破。
據資料顯示，萬業企業旗下控股子公司凱世通是一家以離子束技術為核心的集科研、制造于一體的高科技企業，主要研制、生產、再制造和銷售高端離子注入機。離子注入機與光刻機、刻蝕機和鍍膜機并稱四大核心裝備，重點應用于集成電路與IGBT制造領域、太陽能電池生產領域、AMOLED面板制造等。
