1971年英特爾發布的第一款CPU 4004內部晶體管數約有2300個，5年后，英特爾的Ponte Vecchio處理器將47個小芯片超過1000億個晶體管封裝到一個處理器中，過程中同時使用2.5D和3D技術。

2022年1月5日，AMD發布首款3D堆疊的桌面處理器Ryzen 7 5800X3D，益于3D芯片堆疊，相比Zen2，Zen 3的平均性能提高了19%。

2022年3月4日，AI芯片公司Graphcore的Bow IPU芯片采用3D堆疊技術將AI速度提高40%。

2022年3月9日，蘋果發布了計算機最高端處理器芯片M1 Ultra，將橫向排列的2枚芯片相互連接，配備了1140億個晶體管。

種種示例表明，2.5D/3D封裝技術正成為芯片性能提升的一大重要手段。通過以最低成本實現最高水平的硅集成和面積效率，3D堆疊技術的重要性正在提高。全新的應用也不斷涌現，3D堆疊技術已成為滿足人工智能、機器學習和數據中心等應用程序所需性能的有利可圖的解決方案。


3D封裝成大勢所趨，技術挑戰不容小覷

隨著芯片微縮愈加困難，而市場對芯片高性能的追逐不減，業界開始探索在封裝領域尋求突破，所以這幾年，諸如2.5D/3D的先進IC封裝技術已經成為代工廠、封測廠、IDM、芯片設計廠商以及EDA廠商都競相關注的一環。

但由于成本的原因，高級封裝主要用于高端、面向利基市場的應用，如HPC等。3D封裝技術在HPC等主要的產業推動下迎來快速發展。據Yole 2022Q1發布的先進封裝市場分析報告，先進封裝市場的整體收入預計將以10.11%的年復合增長率增長，從2021年的321億美元增長到2027年的572億美元。而封裝的各個細分類別中，尤以2.5D/3D封裝市場的年復合增長率最大，從2021年的67億美元增加到2027年的147億美元，高達14.34%。

不僅僅是芯片制造過程的最后一步，封裝正在成為芯片創新的催化劑。3D封裝技術允許將不同的芯片如CPU、加速器、內存、IO、電源管理等像樂高積木一樣拼湊起來，其主要優勢是能實現更好的互連能效，減少訪問延遲。例如3D封裝技術允許在計算核心附近放置更多的內存，因此可以減少總的布線長度，提高內存訪問帶寬，改善延遲，提升CPU性能，也因此大大提高了產品級性能、功耗和面積，同時實現對系統架構的全面、重新思考。

如今，3D封裝已成為行業頂尖的芯片企業如英特爾、AMD、NVIDIA、蘋果等致勝的關鍵技術之一。雖然以3D IC為代表的異構封裝已經成為未來的重點發展方向，但落實新技術要面對不少棘手的問題。相比傳統的封裝技術，2.5D/3D IC異構封裝不僅僅是封裝廠技術的革新，更為原有的設計流程、設計工具、仿真工具等帶來挑戰。

首先，在進行2.5D/3D堆疊之后由于集成度的大幅度提升，發熱量變得更為集中，散熱是一大問題；其次，在芯片、中介層、基板膨脹、冷縮的過程中，需要保障機械應力的可靠性；再者, 芯片之間的高頻信號，需要滿足時序、信號完整性要求等問題；最后，芯片堆疊完成后，還需要測試上層芯片是否能正常工作，接線是否良好，堆疊過程中沒有被損壞等等。這些都是3D封裝需要面對的難題和挑戰。

代工廠、設備供應商、研發機構等都在研發一種稱之為銅混合鍵合（Hybrid bonding）工藝，這項技術正在推動下一代2.5D和3D封裝技術。

與現有的堆疊和鍵合方法相比，混合鍵合可以提供更高的帶寬和更低的功耗，但混合鍵合技術也更難實現。


異構集成是銅混合鍵合的主要優勢

銅混合鍵合并不是新鮮事，從2016年開始，CMOS圖像傳感器開始使用晶圓間（Wafer-to-Wafer）的混合鍵合技術制造產品。具體而言，供應商會先生產一個邏輯晶圓，然后生產一個用于像素處理的單獨晶圓，之后使用銅互連技術將兩個晶圓結合在一起，再將各芯片切成小片，形成CMOS圖像傳感器。

混合鍵合與先進封裝的工作方式幾乎相同，但前者更復雜。供應商正在開發另一種不同的變體，稱為裸片對晶圓（Die-to-Wafer）的鍵合，可以在內插器或者其他裸片上堆疊和鍵合裸片。KLA的行銷高級總監Stephen Hiebert表示：“我們能觀察到裸片對晶圓的混合鍵合發展強勁，其主要優勢在于它能夠實現不同尺寸芯片的異構集成?！?/span>

這一方案將先進封裝提高到一個新的水平，在當今先進封裝案例中，供應商可以在封裝中集成多裸片的DRAM堆棧，并使用現有的互連方案連接裸片。通過混合鍵合，DRAM裸片可以使用銅互連的方法提供更高的帶寬，這種方法也可以用在內存堆棧和其他高級組合的邏輯中。

Xperi的杰出工程師Guilian Gao在最近的演講中說：“它具有適用于不同應用的潛力，包括3D DRAM，異構集成和芯片分解?！?/span>

不過這是一項極具挑戰性的工作。裸片對晶圓的混合鍵合需要原始的芯片、先進的設備和完美的集成方案，但是如果供應商能夠滿足這些要求，那么該項技術將成為高級芯片設計的誘人選擇。

傳統上，為改進設計，業界開發了片上系統（SoC），可以縮小每個具有不同功能的節點，然后在將它們封裝到同一裸片上，但是隨著單個節點正變得越來越復雜和昂貴，更多的人轉向尋找新的替代方案。在傳統的先進封裝中組裝復雜的芯片可以擴展節點，使用混合鍵合的先進封裝則是另一種選擇。

其實大多數芯片不需要混合鍵合。對于封裝而言，混合鍵合主要用于高端設計，因為它是一項涉及多項制造挑戰的昂貴技術。但它為芯片制造商提供了一些新的選擇，為下一代3D設計、存儲立方體或3D DRAM以及更先進的封裝鋪平了道路。

有幾種方法可以開發這些類型的產品，包括Chiplet模型。對于芯粒，芯片制造商可能在庫中有一個模塊化芯片菜單。然后，客戶可以混合和匹配這些芯片，并將它們集成到現有的封裝類型或新架構中。在這種方法的一個例子中，AMD堆疊了兩個內部開發的芯?！粋€處理器和一個SRAM 芯片，形成了一個 3D封裝，在頂部結合了一個高性能 MPU 和高速緩存，并使用混合鍵合連接各個die。

還有其他實現chiplet的方法。傳統上，為了改進設計，供應商會開發一個片上系統(SoC)，并在每一代設備上集成更多的功能。這種芯片縮放方法變得越來越困難和昂貴。雖然它仍是新設計的一種選擇，但Chiplet正逐漸成為開發復雜芯片的一種選擇。

使用芯粒，大型SoC被分解成更小的dies或IP塊，并重新聚合成一個全新的設計。從理論上講，芯粒方法以更低的成本加快了上市時間。混合鍵合是實現該技術的眾多要素之一。

為什么要混合鍵合？

混合鍵合并不新鮮事物。多年來，CMOS 圖像傳感器供應商一直在使用它。為了制造圖像傳感器，供應商在工廠中處理兩個不同的晶圓：第一個晶圓由許多芯片組成，每個芯片由一個像素陣列組成；第二個晶圓由信號處理器芯片組成。

然后，使用混合鍵合，將晶圓與μm級的銅對銅互連鍵合在一起。晶圓上的die隨后被切割，形成圖像傳感器。

這個過程與封裝幾乎無異。但對于封裝，混合鍵合涉及一系列不同的組裝挑戰，這就是為什么它直到近年才投入生產。

然后，在研發方面，競技場有幾個發展。例如，Imec使用微凸塊和混合鍵合開發了所謂的 3D-SoC。在 3D-SoC 中，您可以堆疊任意數量的芯片，例如邏輯上的內存。為此，您將內存和邏輯芯片共同設計為單個 SoC。

混合鍵合實現了這些設備中最先進的互連?！盀榱藢崿F這樣的3D-SoC電路，3D互連間距需要進一步擴大，超越目前的最先進水平。我們目前的研究已經證明了在7微米間距實現這種互連的可行性，用于模對模堆疊，700納米間距用于die-to-die，”Imec的高級研究員、研發副總裁兼3D系統集成項目主任Eric Beyne在IEDM的一篇論文中說。

盡管如此，AMD正在使用臺積電的混合鍵合技術，稱為SoIC。據AMD稱，與微凸塊相比，臺積電的技術提供了超過 200 倍的連接密度和 15 倍的互連密度。AMD總裁兼首席執行官 Lisa Su 表示：“與其他競爭方法相比，這種方法每個信號的功耗不足三分之一，從而實現了更高效、更密集的集成。”

同時，在IEDM 2021會議上，臺積電副總裁 Douglas Yu提供了有關該公司 SoIC 路線圖的更多詳細信息。這為客戶概述了混合鍵合凸點間距縮放路徑。

在 SoIC 路線圖上，臺積電以 9μm 的鍵距開始，并已上市。然后，它計劃引入 6μm 間距，隨后是 4.5μm 和 3μm。換句話說，該公司希望每兩年左右推出一次新的鍵合間距，每一代都提供70%的規模提升。

有幾種方法可以實現SoIC。例如，AMD設計了一款基于7nm的處理器和SRAM，由臺積電代工。然后，臺積電使用 SoIC 以 9μm鍵合間距連接芯片。

理論上，隨著時間的推移，你可以開發出各種先進的芯片，然后用臺積電的技術在各種間距上進行鍵合。

可以肯定的是，該技術不會取代傳統的芯片縮放。相反，芯片縮放仍在繼續。臺積電和三星都在研發 5 納米邏輯工藝和 3 納米及更高工藝。

曾經，從一個工藝節點到下一個工藝節點的轉變在芯片的功率、性能和面積 (PPA) 方面提供了顯著的提升。但是，在最近的節點上，PPA 的提升正在減少。

在許多方面，混合鍵合是提供系統提升的一種方式。“過去，大部分PPA的好處都是由硅來完成的。人們過去常常讓芯片縮放來驅動系統性能。但現在，作為引擎的芯片縮放正在失去動力，”Needham 的 Shi 說?！白罱K，您希望通過混合鍵合來提升整個系統級 PPA。如果你想在技術上更精確，SoIC可以說是臺積電為客戶提供的可用工具包中的一個強大工具。SoIC 是某些工作負載的絕佳 PPA 助推器?！?/span>

英特爾、三星和其他公司尚未發布他們的混合綁定路線圖。

盡管如此，從架構的角度來看，所有這一切并不像看起來那么簡單。下一代3D封裝可能會在不同節點包含多個復雜的芯粒。一些裸片可以使用混合鍵合進行堆疊和鍵合。其他裸片將位于封裝的其他地方。因此，需要一系列技術來連接所有部分。

Promex 總裁兼首席執行官 Richard Otte 表示：“對于那些挑戰極限以開發高性能計算產品的公司來說，混合鍵合可能是必需的?！薄皩τ诙S結構和應用，芯?？赡軙褂酶呙芏确椒ɑミB，包括中介層。3D-IC 需要堆疊芯粒，因此需要TSV和銅柱，以及2D高密度互連工藝?！?/span>

還有其他挑戰。在一個封裝中，所有裸片都需要使用裸片到裸片的鏈接和接口相互通信。大多數這些芯片到芯片的鏈接都是專有的，需要有開發開放標準鏈接的舉措。“Chiplet成為新 IP的最大障礙是標準化，必須建立芯粒之間的標準/通用通信接口，才能在多個封裝供應商之間實現這一點，”Otte 說。

與此同時，在制造方面，兩種類型的裝配工藝使用混合鍵合——wafer-to-wafer和die-to-wafer。

在wafer-to-wafer中，芯片在晶圓廠的兩個晶圓上加工。然后，晶圓鍵合機取出兩個晶圓并將它們鍵合在一起。最后，對晶圓上堆疊的芯片進行切割和測試。

Die-to-wafer是另一種選擇。與wafer-to-wafer一樣，芯片在晶圓廠中的晶圓上加工。die是從一個晶圓上切割下來的。然后，將這些die鍵合到基礎晶圓上。最后，對晶圓上堆疊的芯片進行切割和測試。

從一開始，擁有良好成品率的die就很重要。成品率低于標準的die可能會影響最終產品的性能。因此，預先制定良好的測試策略至關重要。

英特爾高級首席工程師 Adel Elsherbini在 IEDM 的一次演講中說：“一些芯片可能存在制造缺陷，這些缺陷最好在測試期間被篩選出來?！薄暗?，如果測試覆蓋率不是100%，則其中一些芯片可能會作為良好芯片通過測試。這是一個特殊的挑戰。有缺陷的芯片可能會導致最終系統良率降低，尤其是隨著芯片數量的增加。”

除了良好的測試策略外，還需要完善的流程?；旌湘I合工藝發生在半導體制造廠內的潔凈室中，而不是像大多數封裝類型那樣發生在封裝廠。

在超凈潔凈室中進行此過程非常重要。潔凈室按潔凈度級別分類，潔凈度級別基于每體積空氣允許的顆粒數量和大小。通常，半導體工廠采用符合 ISO 5 級或清潔標準的潔凈室。根據 American Cleanroom Systems，在 ISO 5 級中，潔凈室中每立方米尺寸 >0.5μm 的顆粒必須少于 3,520 個。ISO 5 級潔凈室相當于舊的 100 級標準。

在某些情況下，OSAT的IC 組裝是在 ISO 7 或 10,000 級或更高級別的潔凈室中進行的。這適用于大多數封裝類型，但不適用于混合鍵合。在此過程中，微小顆?？赡軙秩肓黧w，導致設備故障。

OSAT當然可以建造具有ISO 5潔凈室的設施，但這是一項昂貴的努力?；旌湘I合需要相對昂貴的設備。此外，混合鍵合涉及半導體供應商更熟悉的幾個步驟。

在wafer-to-wafer和die-to-wafer的流程中，該過程從晶圓廠中的單個鑲嵌工藝開始。為此，在晶片的一側沉積二氧化硅層。然后，在表面上形成許多微小的通孔圖案。蝕刻圖案，在晶圓上形成大量微小的μm大小的通孔。

然后將銅材料沉積在整個結構上。使用化學機械拋光 (CMP) 系統對表面進行平坦化。該工具使用機械力拋光表面。

CMP工藝去除銅材料并拋光表面，剩下的是微小通孔中的銅金屬化材料。

整個過程重復幾次。最終，晶圓有幾層。每一層都有微小的銅通孔，它們在相鄰層中相互連接。頂層由較大的銅結構組成，稱為焊盤。介電材料圍繞著微小的焊盤。

盡管如此，鑲嵌工藝，尤其是 CMP，具有挑戰性。它需要對晶圓表面進行精確控制。“[在晶圓上]，電介質表面需要：(1) 非常光滑，以確保在連接芯片時具有強大的吸引力；(2) 非常低的形貌以避免電介質預鍵合中的空隙或不必要的應力，”Elsherbini 在 IEDM 的一篇論文中說。

但是，在這些制程中，可能會出現一些問題。晶圓往往會下垂或彎曲。然后，在 CMP 過程中，該工具可能會過度拋光表面。銅墊凹陷變得太大。在鍵合過程中，某些焊盤可能不會鍵合。如果拋光不充分，銅殘留物會造成電氣短路。

在混合鍵合中，標準CMP工藝可能無法解決問題。“這需要特殊的CMP處理來控制化學蝕刻與機械蝕刻的比例以及 CMP 步驟的數量，以保持電介質表面的平面度，”Elsherbini 說。CMP之后，晶圓會經過計量步驟。計量工具測量和表征表面形貌。

“銅混合鍵合的主要工藝挑戰包括表面缺陷控制以防止空洞、晶圓級厚度和形狀計量以及納米級表面輪廓控制以支持穩健的混合鍵合焊盤接觸，以及控制頂部銅焊盤的對齊和底模，” KLA營銷高級總監 Stephen Hiebert 說。