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不用光刻機,如何制造5nm芯片?

2023-10-23 來源:騰訊網:差評
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關鍵詞: 芯片制造設備 ASML OLED

最近,芯片圈兒又有大新聞了。


佳能搞出了個新的芯片制造設備,不用光刻技術,就能造 5nm 的芯片。


而且說是再優化優化, 2nm 制程也不是啥大問題。



這可先把一眾網友們搞懵圈兒了,佳能怎么不好好造相機,跑出來搞造芯片的機器了?


并且一出手就是 5nm 、 2nm 的。


而這,差評君就不得不先幫佳能找補幾句了,其實一直以來,佳能在芯片制造設備上都有布局,隔壁的尼康也是一個樣。


不過目前光刻機的頂尖技術一直都被 ASML 獨占,佳能眼看追不上,于是在研究光刻機的同時,又找了另外一條賽道:納米壓印。



這次新聞的主角,也正是這個 “ 納米壓印 ” 技術,反正消息一出,吃瓜群眾們的反應是最熱烈的。


像是什么“ 光刻機即將被取代,納米壓印戰未來 ” “ ASML 這下要慌了,被換賽道超車了 ” 。。。各種討論看得人一片沸騰,好像光刻機這玩意兒,以后只能在廢品回收站里看到了似的。


差評君也去大致了解了一下,卻發現事情比想象中的復雜,且有趣。



首先這些年來,光刻機的發展已經逐漸走到一個瓶頸期,芯片制程的進步速度,也肉眼可見得變慢。


沒有對比就沒有傷害,反觀發展至今才二十多年的納米壓印技術,卻是一個 “ 快 ” 字了得,噌噌幾年就快要趕上光刻機的進度了。


對比上個世紀五十年代起步的光刻技術,速度直接翻了一倍多。


并且,新的納米壓印技術和光刻機相比,不但成本也降了,甚至制造工藝也賊簡單,更適合大規模生產。



這么說吧,用光刻技術造芯片,總成本要是十塊,光刻步驟就得花三塊,時間成本也占到總成本的一半。


對比之下,用納米壓印技術可以省掉將近三成的成本,要是晶圓吞吐量再提升一點,直接就能節省一大半的成本。



更重要的是,納米壓印技術的工藝非常簡單,跟蓋章一樣,像下圖這種印章各位差友們應該都見過或者玩過吧。



納米壓印的原理呢,和它差不多,只不過是迷你微縮版。


制造的過程統共就分兩步,一步造 “ 印章 ” ,一步 “ 蓋章 ” 。


先在刻好電路的底板上噴涂印章所需的材料,等凝固后就是納米壓印的印章。


然后再在晶片上噴涂一層納米壓印膠,直接蓋章、等待凝固、脫模就 OK 了。



在造印章、蓋章的過程中,都不用替換工具,一個 “ 噴頭 ” 就能搞定,期間只需要更換里面的材料。


而隔壁需要折來折去的 EUV 光刻技術,不僅要一個龐大的透鏡陣列來控制光線,并且要產生這個波長極短的極紫外光,還得大功率支撐著。



這樣對比之下,納米壓印技術簡直是集能耗小、工藝簡單、設備輕便等優點于一身,不少人都認為這會是最有可能替代 EUV 光刻的技術。



而且如今,納米壓印技術也已經發展出了不少分支,光是壓印方式就有三種:熱壓印、紫外壓印和微接觸壓印,其中紫外壓印常用在芯片制造中,在紫外光的照射下,壓印膠很容易凝固脫模。


根據固化方式、壓印面積等分類也衍生出了很多不同的工藝。


這些工藝,除了造芯片之外,還能用在 LED 、 OLED 、 AR 設備中。



可以說,在納米壓印這塊兒,已經有百花齊放,步入快車道的跡象了。


另外,整個芯片制造行業,對納米壓印技術的關注也不少。


從 2004 年開始,上面我們提到的佳能,就開始悄悄研究起了納米壓印。2014 年它收購了美國的一家納米壓印公司 Molecular Imprints ( 分子壓模 ),正式宣布進入納米壓印市場。



后來,它還和東芝( 現在的鎧俠 )合作,準備用納米壓印技術造 3D NAND 閃存,三星在買 EUV 設備的同時,也還在著手進行納米壓印技術的研發。


就連 SK 海力士也從佳能那邊買了納米壓印設備,準備搞 3D NAND 閃存生產測試,并計劃在 2025 年實現大規模量產。


如果能順利實現商業化的話,200 層以上的 3D NAND 閃存生產效率會大大提高。



到時候,用納米壓印技術造 DRAM 、 CPU 等芯片自然也就不遠了。


在國內,納米壓印的市場也是發展得火熱,不少高校像復旦、北大等都有相關的研究。前幾天佳能官宣自家的納米壓印設備之后,還順帶拉動了國內相關概念股,匯創達盤中一度漲超 14% 。


國內的一些上市企業,比如美迪凱、奧比中光、騰景科技等也都在納米壓印相關行業有所布局,并且還在繼續搞相關技術的研發。


前期,市場火熱最直觀的體現就是在專利上,目前國內在納米壓印技術相關專利總數上排名第二,占比全球總數的 16% 。



所以說納米壓印技術,妥妥是目前的當紅辣子雞。


不過在差評君心里還有個疑團,納米壓印技術這么簡單,一句話就能解釋清楚原理,為啥這么晚才被研究,不應該早就應用了嗎?


于是我又回過頭仔細研究了下納米壓印的工藝流程,發現納米壓印這技術,在一開始就卡了個大 BUG 。


而這 BUG ,也算是解答了差評君的疑問,那就是:光刻機到底會不會被取代、被淘汰?


還拿蓋印章的例子來說,用這種方法做芯片,第一步首先得做印章吧,但納米壓印做那個 “ 印章 ” 的模具是 1 :1 的。


但要怎么 “ 挖出 ” 印章里這種納米級的溝道?


( 溫馨提示:當初就是因為挖不出納米級的溝道才搞出的光刻機,用 5 :1 甚至 10 :1 放大后的電路板光刻。 )


所以能供納米壓印選擇的要么是光刻,要么就是實驗室里的電子束曝光以及聚焦離子束。



emmm 合著這一圈兒又回到起點了。。。


不過好在那個做印章的 “ 模具 ” 可以重復使用,不用大量生產,也算是另一種方式的節省成本,不然真就是脫褲子放屁。


當然,除了這個大 BUG 外,納米壓印還有不少的技術難題等著解決。


平時我們自己玩印章的時候都避免不了印的不均勻,或者缺邊少角的。


而在納米尺度下的納米壓印技術,這些情況就更不能避免了,像下面這些兩邊高度不一、印章變形、沒有完全契合的現象都是很常見的殘次品。



要避免這些殘次品的出現,就得在技術上下功夫。


首先就是噴涂過程,也就是在晶片上噴涂納米壓印膠,在這個過程中,噴涂的厚度、均勻度等都有著嚴格的要求,并且還不能有氣泡、灰塵進入,一旦進入直接就報廢了。。。


解決辦法目前都是在壓印過程下功夫,局部加熱不均勻的部分,好讓印章和印膠嚴密貼合。


還有就是脫模過程,為了能讓壓印膠更好的脫模,業內一般都會在膠上面搞上一層納米級別的抗粘性材料。


這雖然好脫模了,但這種抗粘性材料還會和模具發生摩擦啥的,模具的壽命也會因此縮短。


另外還有壓印膠材料、模具材料的選擇,模具定位及套刻精度,精確控制等等一系列問題。



這些零碎的技術難題,體現到產品上就是良率的問題。


所以,要實現納米壓印芯片量產就繞不開這些問題,而要解決這些問題,大量的研發以及試錯成本少不了,這一切,都需要時間來支撐。


最后,再回到開頭說的納米壓印能不能取代光刻機的問題上。


相信看到這里的朋友們心里應該都有答案了:肯定不會,畢竟納米壓印在第一步就繞不開光刻技術。


更重要的是,差評君覺得,這兩種技術之間的關系并不是非此即彼,與其說納米壓印會取代光刻機,不如說納米壓印是光刻技術的延伸。


就像二十世紀通用機床一樣,一開始它們只生產產品,后來轉向生產專用工具,專用工具再生產產品,不僅擴大了產能,還降低了成本。


或許未來有一天,光刻機也會迎來這樣的角色轉變,到時候,說不定芯片制造業,已經完成了新一輪的革新。



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