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晶圓月產能7萬片,良率可達99%,中芯國際又一重大項目量產

2021-07-08 來源:OFweek電子工程網
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據浙江日報報道稱,位于浙江紹興的中芯紹興成功完成晶圓設備鏈調試。8 英寸晶圓月產能增至 7 萬片,良品率達 99%。目前半導體領域應用范圍最廣的是 8 英寸、12 英寸晶圓。中芯紹興量產成功的 8 英寸晶圓,可用于智能汽車、智能家居家電的芯片制造。

據悉,中芯紹興成立于2018年3月,由中芯國際和紹興集成電路產業基金聯合設立,一期總投資58.8億元,從中芯國際轉移并擴建一條8英寸特殊工藝芯片生產線和模組封裝生產線,提供微機電(MEMS)和功率器件(IGBT、MOSFET)芯片和模組生產服務。

中芯紹興布局三大工藝平臺:一是 MEMS 平臺,包括 MEMS 麥克風、壓力傳感器、超聲波傳感器、振蕩器、加速度計、陀螺儀;二是 MOSFET 工藝平臺,包括溝槽式 MOSFET、分柵式 MOSFET 以及超結 MOSFET;三是立足場截止型(Field Stop)IGBT 結構。



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